Four à tubes sous vide CVD à trois zones 1700℃
Le four utilise une tige de silicium molybdène comme élément chauffant, adopte une structure de coque à double couche et un système de contrôle de température de programme à 31 sections, un déclencheur de déphasage et un contrôle contrôlé au silicium, et le four adopte une fibre céramique d'alumine, un matériau de plaque lumineuse en fibre formée sous vide.
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