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Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃
Catégories
Produits chauds
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Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃
article no.:
TOB-DSP-1200℃-PECVDordre (moq):
1setPaiement:
L/C,T/T,Western Union, Paypalorigine du produit:
Chinaport d'expédition:
XIAMENDelai:
7days
Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃
Caractéristiques
|
modèle |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv |
|
|
Puissance |
3kw |
3kw |
4kw |
4kw |
|
|
taille du tube du four (mm) |
dia 60 (od) x1800mm |
dia 80 (od) x1800mm |
diamètre 100 (od) x1800mm |
dia 120 (od) x1800mm |
|
|
dimension |
1800x410x610 |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
1800x460x660 |
|
|
tension d'alimentation |
220v |
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numéro de phase |
monophasé |
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mode de contrôle |
contrôle de la température yudian 30 sections ne peuvent utiliser que la régulation de température pid. contrôle de température fp93 (du japon) (remplacer les instruments importés, moyennant des frais supplémentaires) Le contrôle de la température du programme de 1,40 sections peut être divisé en 4,2,1 programmes de groupe, si le programme est divisé en quatre groupes, chaque segment de programme 10, Contrôle de groupe de 2,6 pid, basse, moyenne et haute température peut chacun avec un ensemble de pid, de sorte que chaque segment est capable de contrôler la température est très précis. |
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mode de contrôle de la température |
pid intelligent |
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protection et affichage anti-grillage |
Oui |
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protection contre la surchauffe |
Oui |
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Protection contre les surintensités |
Oui |
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précision de contrôle |
+/- 1 ℃ |
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déclencheur |
déclencheur à déphasage |
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scr |
106 / 16e allemagne simon kang |
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la température maximale de la zone de température 1.2 |
1200 ℃ |
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la zone de température 1.2 température nominale |
1150 ℃ |
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taux de chauffage |
≤30 ℃ / min (disponible sur demande de modification) |
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taux de chauffage recommandé |
≤15 ℃ / min |
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type de thermocouple |
type k |
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la longueur de chauffage de la zone de température 1.2 |
205mm |
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température de surface environnante |
≤45 ℃ |
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plasma rf power |
plage de puissance de sortie |
0-500w |
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puissance réfléchie maximale |
10w |
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fréquence du signal |
13,56 mhz ± 0,005% |
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bruit |
& lt; 30 db |
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refroidissement par air |
méthode de refroidissement |
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la puissance d'entrée |
208-240v 50 / 60hz |
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paramètres principaux du système d'alimentation gx |
gamme standard |
régulateur de débit de protons 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (vous pouvez choisir n'importe quelle échelle) |
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|
précision |
± 1,5% |
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la chute de pression |
& lt; 0,01mpa |
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répétabilité |
± 0,2% f.s |
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max pression de service |
3mp |
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système d'échappement vs-0.1 |
source de courant |
220v / 380v 380w |
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taux de pompage |
2l / s |
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jauge à vide à résistance |
zdr-i |
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plage de mesure du vide |
0,1-10 5 pa |
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pompe à vide |
vrd-8 |
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Tuyau ondulé |
kf25x1000mm |
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|
système de vide |
10 -1pa |
||||
email : tob.amy@tobmachine.com
skype: amywangbest86
WhatsApp / numéro de téléphone: +86 181 2071 5609
Prochaine:
four de pressage à chaud sous vide
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