Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃

modèle

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

Puissance

3kw

3kw

4kw

4kw

taille du tube du four (mm)

dia 60 (od) x1800mm

dia 80 (od) x1800mm

diamètre 100 (od) x1800mm

dia 120 (od) x1800mm

dimension

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

tension d'alimentation

220v

numéro de phase

monophasé

mode de contrôle

contrôle de la température yudian

30 sections ne peuvent utiliser que la régulation de température pid.

contrôle de température fp93 (du japon)

(remplacer les instruments importés, moyennant des frais supplémentaires)

Le contrôle de la température du programme de 1,40 sections peut être divisé en 4,2,1 programmes de groupe, si le programme est divisé en quatre groupes, chaque segment de programme 10,

Contrôle de groupe de 2,6 pid, basse, moyenne et haute température peut chacun avec un ensemble de pid, de sorte que chaque segment est capable de contrôler la température est très précis.

mode de contrôle de la température

pid intelligent

protection et affichage anti-grillage

Oui

protection contre la surchauffe

Oui

Protection contre les surintensités

Oui

précision de contrôle

+/- 1 ℃

déclencheur

déclencheur à déphasage

scr

106 / 16e allemagne simon kang

la température maximale de la zone de température 1.2

1200 ℃

la zone de température 1.2

température nominale

1150 ℃

taux de chauffage

≤30 ℃ / min (disponible sur demande de modification)

taux de chauffage recommandé

≤15 ℃ / min

type de thermocouple

type k

la longueur de chauffage de la zone de température 1.2

205mm

température de surface environnante

≤45 ℃

plasma rf power

plage de puissance de sortie

0-500w

puissance réfléchie maximale

10w

fréquence du signal

13,56 mhz ± 0,005%

bruit

& lt; 30 db

refroidissement par air

méthode de refroidissement

la puissance d'entrée

208-240v 50 / 60hz

paramètres principaux du système d'alimentation gx

gamme standard

régulateur de débit de protons 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(vous pouvez choisir n'importe quelle échelle)

précision

± 1,5%

la chute de pression

& lt; 0,01mpa

répétabilité

± 0,2% f.s

max

pression de service

3mp

système d'échappement vs-0.1

source de courant

220v / 380v 380w

taux de pompage

2l / s

jauge à vide à résistance

zdr-i

plage de mesure du vide

0,1-10 5 pa

pompe à vide

vrd-8

Tuyau ondulé

kf25x1000mm

système de vide

10 -1pa