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Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃

article no.:
TOB-DSP-1200℃-PECVD
ordre (moq):
1set
Paiement:
L/C,T/T,Western Union, Paypal
origine du produit:
China
port d'expédition:
XIAMEN
Delai:
7days

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Détails du produit

Système pecvd à double zone de type curseur de 1200 ℃

Caractéristiques

modèle	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii		tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv
Puissance	3kw	3kw		4kw	4kw
taille du tube du four (mm)	dia 60 (od) x1800mm	dia 80 (od) x1800mm		diamètre 100 (od) x1800mm	dia 120 (od) x1800mm
dimension	1800x410x610	1800x410x610		1800x460x660	1800x460x660
tension d'alimentation	220v
numéro de phase	monophasé
mode de contrôle	contrôle de la température yudian 30 sections ne peuvent utiliser que la régulation de température pid. contrôle de température fp93 (du japon) (remplacer les instruments importés, moyennant des frais supplémentaires) Le contrôle de la température du programme de 1,40 sections peut être divisé en 4,2,1 programmes de groupe, si le programme est divisé en quatre groupes, chaque segment de programme 10, Contrôle de groupe de 2,6 pid, basse, moyenne et haute température peut chacun avec un ensemble de pid, de sorte que chaque segment est capable de contrôler la température est très précis.
mode de contrôle de la température	pid intelligent
protection et affichage anti-grillage	Oui
protection contre la surchauffe	Oui
Protection contre les surintensités	Oui
précision de contrôle	+/- 1 ℃
déclencheur	déclencheur à déphasage
scr	106 / 16e allemagne simon kang
la température maximale de la zone de température 1.2	1200 ℃
la zone de température 1.2 température nominale	1150 ℃
taux de chauffage	≤30 ℃ / min (disponible sur demande de modification)
taux de chauffage recommandé	≤15 ℃ / min
type de thermocouple	type k
la longueur de chauffage de la zone de température 1.2	205mm
température de surface environnante	≤45 ℃
plasma rf power	plage de puissance de sortie		0-500w
	puissance réfléchie maximale		10w
	fréquence du signal		13,56 mhz ± 0,005%
	bruit		& lt; 30 db
	refroidissement par air		méthode de refroidissement
	la puissance d'entrée		208-240v 50 / 60hz
paramètres principaux du système d'alimentation gx	gamme standard		régulateur de débit de protons 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (vous pouvez choisir n'importe quelle échelle)
	précision		± 1,5%
	la chute de pression		& lt; 0,01mpa
	répétabilité		± 0,2% f.s
	max pression de service		3mp
système d'échappement vs-0.1	source de courant		220v / 380v 380w
	taux de pompage		2l / s
	jauge à vide à résistance		zdr-i
	plage de mesure du vide		0,1-10 5 pa
	pompe à vide		vrd-8
	Tuyau ondulé		kf25x1000mm
	système de vide		10 -1pa

email : tob.amy@tobmachine.com

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