Four CVD à lit fluidisé

Four CVD à lit fluidisé - TOB-1200-LTS-FB

Présentation du produit et applications idéales

Le TOB-1200-LTS-FB est un four CVD à lit fluidisé conçu pour les expériences de dépôt de surface sur poudres. Un tube en quartz de haute pureté supporte une plaque en quartz poreux dans sa partie inférieure ; la poudre repose sur cette plaque, le gaz est injecté par le bas du tube, et le flux ascendant à travers la plaque soulève les particules de sorte qu'elles flottent à l'intérieur de la zone chauffée pendant que le dépôt s'effectue.

Le four atteint 1200 °C en moins d'une heure et maintient 1150 °C en continu, avec une zone de chauffage de 200 mm et une zone à température constante de 100 mm. Le tube est disponible en Φ25 mm ou Φ50 mm avec une longueur de 600 mm, et la plaque poreuse est fabriquée selon la taille de pores requise par votre poudre. Une enveloppe double couche avec refroidissement par air, un corps de four ouvrant pour le changement des tubes, une protection de tube en quartz et une soupape de décharge de pression mécanique font tous partie de l'équipement standard.

Idéal pour :

• Le dépôt CVD sur des poudres qui doivent être individuellement en suspension plutôt que tassées en lit
• Les expériences de revêtement où le gaz doit passer uniformément à travers toute la section transversale du tube
• Les charges de poudre dimensionnées pour un tube de Φ25 mm ou Φ50 mm avec une longueur de 600 mm
• Les processus nécessitant une température de pointe de 1200 °C avec un contrôle à ±1 °C et une bibliothèque de programmes de 15 recettes
• Ne convient pas pour :Les gaz de traitement corrosifs ou acides (les dommages causés par ceux-ci sont exclus de la garantie), ou les poudres dont la taille des particules ne peut pas être fluidisée par la vitesse de gaz disponible

Envoyez-nous votre type de poudre, la taille de ses particules et le revêtement cible, et nous confirmerons le diamètre du tube et les spécifications de la plaque poreuse pour votre processus.

Où le CVD à lit fluidisé trouve sa place dans la recherche sur le revêtement de poudres

Dans un lit fixe, les particules se touchent et le gaz trouve les chemins de moindre résistance, de sorte que l'épaisseur du revêtement varie d'une particule à l'autre. Un lit fluidisé élimine ce problème en soulevant les particules sur un flux de gaz ascendant, de sorte que chaque particule est exposée au précurseur sur toute sa surface. La séquence à l'intérieur de ce four est la suivante :

1. La poudre est chargée sur la plaque en quartz poreux à l'intérieur du tube en quartz, et le tube est fermé par l'assemblage de brides en acier inoxydable.
2. Le gaz de traitement est introduit à l'extrémité inférieure du tube et passe à travers la plaque poreuse, qui répartit le flux sur toute la section transversale du tube.
3. Au-dessus de la vitesse de soulèvement, les particules quittent la plaque et forment un lit en suspension à l'intérieur de la zone de chauffage de 200 mm, où le précurseur se décompose sur leurs surfaces.
4. La poudre revêtue est récupérée après refroidissement en ouvrant la bride supérieure. La protection du tube et la soupape de décharge de pression mécanique restent en place pendant toute la durée de l'opération.

Étant donné que la taille des pores de la plaque détermine à la fois la chute de pression et l'uniformité de la distribution du gaz, c'est la spécification unique qui modifie le plus le résultat. Des tailles de pores de 4 à 550 μm sont disponibles, et la plaque est fabriquée sur commande.

Caractéristiques techniques clés du TOB-1200-LTS-FB

• Spécialement conçu pour le dépôt sur poudres : la plaque en quartz poreux et l'arrivée de gaz inférieure existent pour que les particules soient en suspension dans la zone chauffée, et non simplement posées dedans.
• Enveloppe double couche avec refroidissement par air : la paroi extérieure reste plus fraîche que celle d'un four à simple paroi de même température de chambre.
• Corps de four ouvrant et séparable : le corps s'ouvre de sorte que le tube en quartz peut être remplacé sans démonter le four.
• Protection de tube en quartz : un bouclier autour du tube prévient les blessures si le quartz se brise sous vide ou en cas de choc thermique.
• Soupape de décharge de pression de sécurité mécanique : protège contre la surpression si la plaque filtrante en quartz poreux vient à se bloquer.
• Chambre en alumine avec revêtement haute température : isolation en fibres d'alumine de haute pureté avec un revêtement en alumine haute température importé des États-Unis sur la surface de la chambre, pour une efficacité de chauffage accrue et une plus longue durée de vie de la chambre.
• Éléments chauffants en alliage HRE : 1200 °C atteignables en moins d'une heure, 1150 °C en continu, précision de ±1 °C sur un thermocouple de type K.
• Assemblage d'étanchéité en acier inoxydable : assemblage de brides à double joint torique en silicone en standard, avec des ensembles de pompage optionnels jusqu'à 5 × 10⁻¹ Pa (mécanique) ou 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Spécifications complètes

1. Corps du four et spécifications thermiques

2. Tube en quartz et plaque poreuse

3. Système de vide et d'étanchéité

4. Dimensions, poids et garantie

5. Consommables et exclusions de garantie

Système de contrôle

Le contrôleur fonctionne sur un système d'exploitation embarqué avec un écran tactile en vraies couleurs de 7 pouces. Quatre fonctions comptent pour un travail reproductible de CVD sur poudre :

Les captures d'écran ci-dessous suivent l'ordre des lignes ci-dessus : la bibliothèque de courbes enregistrées, l'éditeur de courbes, l'interface commutable, la correction non linéaire, le démarrage programmé et les deux alarmes de protection.

Le contrôleur stocke 15 courbes de température, de sorte qu'un protocole ne doit pas être ressaisi pour chaque cycle.

Écran de réglage des courbes de température.

Le système d'exploitation embarqué bascule entre le chinois et l'anglais sur l'écran tactile en vraies couleurs de 7 pouces.

Correction non linéaire de la température de l'échantillon, utilisée pour aligner la température affichée sur la température mesurée de l'échantillon.

Démarrage programmé, une fonction optionnelle, pour les cycles qui doivent commencer à une heure fixe.

Alarme de surchauffe de la zone 1.

Surchauffe de la zone 1 avec indication de rupture de thermocouple.

Recommandations pratiques d'utilisation

• Commandez la plaque poreuse en même temps que la poudre, et non après : la taille des pores détermine à la fois la chute de pression à travers la plaque et l'uniformité de la distribution du gaz, ce qui décide si le lit sera fluidisé au débit que vous pouvez fournir.
• Planifiez le maintien en dessous de la puissance continue : 1200 °C est le pic accessible, 1150 °C est la température continue. Les maintiens longs doivent être effectués à 1150 °C ou en dessous.
• Maintenez la rampe à 20 °C/min ou moins : c'est la vitesse de chauffe maximale spécifiée pour le four, et cela limite également le choc thermique sur le tube en quartz.
• Ne retirez jamais la protection du tube ou la soupape de décharge : la protection contient le quartz en cas de défaillance du tube, et la soupape de décharge mécanique s'ouvre si la plaque poreuse se bloque et que la pression augmente.
• Vérifiez la compatibilité des gaz avant l'essai : les dommages causés par les gaz corrosifs et acides sont exclus de la garantie, veuillez donc confirmer que le gaz de processus est acceptable avant le premier cycle thermique.
• Stockez les consommables : l'élément chauffant, le thermocouple et le creuset d'échantillon sont des consommables et ne sont pas inclus, commandez donc des pièces de rechange avec le four plutôt qu'après une panne.
• Utilisez les 15 courbes mémorisées comme bibliothèque de recettes : une courbe par processus permet de rendre la même opération de revêtement reproductible d'un opérateur à l'autre.

FAQ technique

Q1. Quel tube dois-je choisir, Φ25mm ou Φ50mm ?

R. Les deux sont proposés avec une longueur de 600mm. Le plus grand tube contient plus de poudre par cycle et donne une vitesse de gaz plus faible pour le même débit volumétrique ; le petit tube atteint la vitesse de soulèvement avec moins de gaz. Choisissez en fonction du volume de poudre dont vous avez besoin par expérience et du débit de gaz que vous pouvez fournir.

Q2. Quelle doit être la taille des pores de la plaque de quartz poreuse ?

R. Des tailles de pores de 4 à 550 μm sont disponibles et la plaque est fabriquée sur commande. La taille des pores doit être suffisamment petite pour maintenir la poudre au repos et suffisamment ouverte pour laisser passer le gaz de processus à une chute de pression exploitable, elle est donc spécifiée avec la poudre plutôt que séparément.

Q3. Quelle est la température maximale et la vitesse de chauffe ?

R. 1200 °C sont atteints en moins d'une heure. La température continue est de 1150 °C, la précision de la température est de ±1 °C sur un thermocouple de type K, et la vitesse de chauffe maximale est ≤20 °C/min.

Q4. Quel niveau de vide peut-être atteint ?

R. Avec un groupe de pompage mécanique optionnel, le système atteint 5 × 10⁻¹ Pa ; avec un groupe de pompage turbo optionnel, il atteint 5 × 10⁻³ Pa. L'équipement standard est l'ensemble de brides d'étanchéité en acier inoxydable doté de doubles joints toriques en silicone.

Q5. Que se passe-t-il si la plaque poreuse se bloque ?

R. Une soupape de décharge de pression de sécurité mécanique est intégrée en tant que partie de l'ensemble d'étanchéité standard, de sorte que la pression accumulée par une plaque filtrante en quartz bloquée est libérée plutôt que contenue. Une protection de tube en quartz est également standard, de sorte qu'une défaillance du tube n'expose pas l'opérateur.

Q6. Puis-je utiliser des gaz de processus acides ou corrosifs ?

R. Les dommages causés par les gaz corrosifs et acides ne sont pas couverts par la garantie, c'est pourquoi tout gaz de processus acide ou corrosif doit être examiné avec nous avant que le four ne soit utilisé avec celui-ci.

Q7. Que couvre la garantie et qu'est-ce qui n'est pas inclus ?

R. Garantie d'un an avec support technique à vie. Les pièces consommables — l'élément chauffant, le thermocouple, le creuset d'échantillon et les éléments similaires — ne sont pas incluses, et les dommages causés par des gaz corrosifs ou acides sont exclus.

Q8. Quels sont l'encombrement et le poids ?

R. 510mm × 430mm × 1000mm, pour un poids net d'environ 35KG. Le four est disposé verticalement, de sorte que l'axe du tube est vertical et que le gaz entre par le bas.

Indiquez-nous la poudre, la granulométrie et le revêtement visé. Nous reviendrons vers vous avec le diamètre du tube, la taille des pores de la plaque poreuse et le groupe de pompage adaptés à votre opération.

tob.amy@tobmachine.com | +86 181 2071 5609

Examiné par : Pinery Gong, Assemblage de batteries et processus de rendement ｜ Dernière mise à jour : 2026-10-19

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