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Machine de revêtement par pulvérisation magnétron
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Machine de revêtement par pulvérisation magnétron sous vide

Le dispositif de pulvérisation magnétron TOB-1100X-SPC-16M utilise l'effet de pulvérisation produit par le bombardement de particules du matériau cible dans un environnement sous vide, ce qui fait que les atomes ou les molécules du matériau cible jaillissent de la surface solide et le processus de formation d'un film mince. est déposé sur le substrat.

  • Marque:

    TOB NEW ENERGY

  • article no.:

    TOB-1100X-SPC-16M

  • ordre (moq):

    1

  • Paiement:

    L/C,T/T

  • origine du produit:

    China

  • port d'expédition:

    XIAMEN
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Détails du produit

Machine de revêtement par pulvérisation magnétron sous vide


CARACTÉRISTIQUES

Le dispositif de pulvérisation magnétron TOB-1100X-SPC-16M utilise l'effet de pulvérisation produit par le bombardement de particules du matériau cible dans un environnement sous vide, ce qui fait que les atomes ou les molécules du matériau cible jaillissent de la surface solide et le processus de formation d'un film mince. est déposé sur le substrat. Appartient à la préparation de dépôt physique en phase vapeur (PVD) de la technologie des couches minces. La coucheuse par pulvérisation magnétron TOB-1100X-SPC-16M peut être utilisée pour la préparation d'échantillons au microscope électronique à balayage en laboratoire, et la taille compacte de l'équipement permet d'économiser de l'espace dans le laboratoire ; l'opération est simple et convient aux débutants.


Caractéristiques

  • Il est équipé d'un vacuomètre et d'un courantomètre de pulvérisation, qui peuvent surveiller l'état de fonctionnement en temps réel.
  • En ajustant le contrôleur de courant de pulvérisation et la microvanne de gaz sous vide, il contrôle la pression de la chambre à vide, le courant d'ionisation et sélectionne le gaz d'ionisation requis pour obtenir le meilleur effet de revêtement.
  • La bague d'étanchéité en caoutchouc sur le bord du boîtier de cloche est spécialement conçue pour garantir que le boîtier de cloche en verre ne sera pas ébréché lors d'une utilisation à long terme.
  • Les raccords d'électrodes haute tension scellés en céramique sont plus durables que les joints en caoutchouc normalement utilisés.
  • Selon les caractéristiques d'ionisation du gaz dans le champ électrique, une chambre à vide de pulvérisation de grande capacité et une zone correspondante de la cible de pulvérisation sont utilisées pour rendre la couche pulvérisée plus uniforme et plus pure.
  • La tête de pulvérisation utilise la technologie de refroidissement Peltier pour obtenir des revêtements à fines particules de haute performance.
  • Des têtes de pulvérisation refroidies à l'eau et des tables porteuses refroidies à l'eau sont disponibles.


Nom du produit

Mach de revêtement par pulvérisation magnétron sous videiné

modèle du produit

TOB-1100X-SPC-16M

Conditions d'installation

Cet équipement doit être utilisé à une altitude de 1 000 m ou moins, à une température de 25 ℃ ± 15 ℃ et une humidité de 55 % RH ± 10 % RH.

1. Eau : l'équipement doit être équipé d'une machine à eau de refroidissement à circulation automatique en option (remplissage d'eau pure ou d'eau déionisée)

2. électricité : AC220V 50Hz, doit avoir une bonne mise à la terre

3. gaz : chambre d'équipement à remplir d'argon (pureté 99,99 % ou plus), nécessité de fournir sa propre bouteille de gaz argon (avec réducteur de pression)

4. Table de travail : taille 600 mm × 600 mm × 700 mm, portante 50 kg ou plus.

5. Dispositif de ventilation : non requis

Paramètre majeur

1. Cible : Ø50mm

2. Chambre à vide : Ø160mm×120mm

3. degré de vide :≤4×10-2mbar

4, courant maximum : 50 mA (100 mA en option)

5. Le temps limite peut être défini : 9999 s

6. Micro-vanne à vide : Connecter le tuyau Ø3mm

7. tension limite : 1600 V CC.

8. pompe mécanique : 2L/s

9. Matériel cible :

Exigence de taille : φ50 mm × (0,1-0,5) mm (épaisseur)

Convient à la pulvérisation cathodique de Au, Ag, Cu et autres métaux (disponibles dans notre société)

10. Taille : 360 mm × 300 mm × 380 mm

Poids total : 50Kg, Poids net : 15Kg


AFFICHAGE DU PRODUIT

Machine de revêtement par pulvérisation magnétron sous vide

 Courriel :  tob.amy@tobmachine.com

 Skype : amywangbest86

 Whatsapp/Numéro de téléphone : +86 181 2071 5609

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